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Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)
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Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme hat sich auf die anwendungsspezifische Forschung, Entwicklung und Fertigung von Mikro-Opto-Elektro-Mechanischen Mikrosystemen (MOEMS) spezialisiert.
Herausragende Kompetenzen bestehen auf den Gebieten:
  • CMOS-kompatible Mikrosystem-Fertigungstechnologien
  • organische Fertigungstechnologien
  • Systemdesign und Mixed-Signal IC Design
  • Test, Charakterisierung und Zuverlässigkeit von Mikrosystemen


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